山東
IT之家 7 月 23 日消息，據濱州發布、大眾日報消息，7 月 19 日，濱化集團舉行電子級高純氟化氫氣體投產暨新產品發布會，宣布該集團旗下大晟芯材成功實現 6N 級高純氟化氫規模化量產，產品關鍵指標達國際一流水準，一舉填補山東省高純氟化氫產能空白，為國內先進制程芯片制造供應鏈自主可控再添關鍵支撐。
高純氟化氫是芯片蝕刻、清洗環節不可或缺的核心原料，被譽為半導體產業的“化學雕刻刀”。
6N 級（99.9999%）高純氟化氫是適配 28 納米及以下先進制程的必需品，長期以來核心技術被海外企業壟斷，國內多數產品普遍停留在 5N 級（99.999%），微小雜質差距直接制約國產芯片良率提升，是半導體領域典型“卡脖子”材料。
大眾日報稱，西方壟斷 6N 級高純氟化氫全球約 80% 的市場份額。目前市場價格已在 200 萬元 / 噸以上。
高純氟化氫作為濱化首款落地的電子特氣產品，關鍵金屬離子雜質含量低于 1ppb，與國際一流水平接軌。濱化集團特種化學品事業部總經理劉騰介紹：“別小看這后面多出來的一個‘9’—— 在芯片制造中，金屬雜質含量哪怕只高出幾個 ppb（十億分之一），都可能導致芯片良率大幅下降。”
此次濱化集團技術突破絕非單點攻關，而是工藝、工程、檢測、充裝一套全流程系統創新成果：企業攻克多重精餾耦合、低析出設備選材、鋼瓶潔凈防護、微量雜質精準檢測四大核心技術，嚴控金屬離子雜質含量低于 1ppb，解決了生產、儲運全鏈條二次污染難題。
目前，濱化已完成 50 噸 / 年高純氟化氫鋼瓶充裝線的建設與調試，并于 7 月 16 日取得山東省特種設備檢驗研究院頒發的氣瓶充裝許可證，具備了完整的生產、充裝、銷售資質，實現了從實驗室到產業化的閉環。依托過硬產品品質，已面向行業重點企業開展產品推介。6N 級高純氟化氫市場附加值高，該項目落地將有效提升區域化工產業向高端電子化學品轉型核心競爭力。
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